DEKTAKXT布魯克臺階儀/探針式表面輪廓儀）可以提供更高的重復性和分辨率，測量重復性可以到5?。臺階儀這項性能的到了過去四十年Dektak技術，更加鞏固了其行業。不論應用于研發還是產品測量，通過在研究工作中的廣泛使用，DektakXT能夠做到功能更強大，操作更簡易，檢測過程和數據采集更完善。第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）的技術，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體，電池，高亮度發光二管的研發以及材料科學領域。

DEKTAKXT布魯克臺階儀/探針式表面輪廓儀）

　　1、使用溫度條件：10-30℃；

　　2、臺階高度重現性低于4A

　　3、Single-arch設計提供掃描穩定性

　　4、*的“智能電子器件"設立了新低噪音基準

　　5、新硬件配置使數據采集時間縮短

　　6、64-bit，Vision64同步數據處理軟件，使數據分析速度高了10倍

　　7、頻率，操作簡易

　　8、直觀的Vision64用戶界面，操作簡易

　　9、針尖自動校準系統

　1968年臺階儀DektakⅠ面世以來，迄今已有50多年的發展歷程。通過整合技術，突破創新，Dektak系列臺階儀已經來到了第十代，目前我們主要有兩種型號:桌面式DektakXT（圖1），樣品兼容可到8寸；另外一款是集成了防震臺一體化的落地式DektakXTL，它的兼容樣品可以達到12寸（圖2）。布魯克第十代Dektak產品在過去五十年不斷的技術創新，得到眾多使用客戶的認可。

　　DektakXT是使用single-arch設計的探針輪廓儀，single-arch設計及智能電子器件，大大改善了設備穩定性，進一步提高防震性能。DektakXT在測量臺階高度重復性方面具有優異的表現，臺階高度重復性可低于4?。使用single-arch結構比原先的懸臂梁設計更加穩固，降低了對不利環境條件的敏感性，如聲音和震動噪音。

　　對多用戶儀器而言，能快速輕松更換探針以適應不同應用是必要的。Dektak臺階儀的轉接頭和探針通過強磁吸附進行連接，在探針更換工具的配合下，更換探針簡單、方便、易操作（圖3）。DektakXT新的針尖自動校準，消除任何潛藏的針尖更換/校準隱患。這一技術讓其他困難并耗時的任務變得輕松且快速。為盡量滿足使用的要求，Bruker提供了范圍廣泛的標準和客戶定制探針規格，包括用于深溝渠測量的高徑比針尖。

　　作為探針式表面輪廓儀核心的部件—傳感器，DektakXT采用LVDT傳感器原理，即LinearVariableDifferentialTransformer線性可變差動變壓器（圖4），其優勢包括：無摩擦測量、延長機械壽命、提高分辨率、零位可重復性、軸向、堅固耐用、環境適應性、輸入/輸出隔離。

數據采集和分析速度

　　直接驅動掃描平臺，DektakXT減少了掃描間的時間，而沒有影響分辨率和背景噪聲。這一改進大范圍掃描3D形貌或者對于表面應力長程掃描（就探針輪廓儀而言，通常是耗時的）的掃描速度。在行業的質量和重現性前提下，DektakXT可以將數據采集處理的速度。另外，DektakXT采用Bruker64-bit數據采集分析同步操作軟件Vision64，它可以大范圍3D形貌圖的高數據量處理速度，并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描是的數據分析。Vision64還具有行業內的直觀用戶界面，簡化了實驗操作設置，自動完成多掃描模式，讓重復和常規的實驗操作變得更快速簡潔。。