LIV
測量參數

Ith

閾值電流

<1%

SE

斜效率

<2%

Iop

工作電流

Vop

工作電壓

Pop

工作功率

Pbop

背向工作功率

Vf

正向工作電壓

Pf

前向功率

Pb

背向功率

Rs

等效電阻

PfKink

功率Kink

PfIkink

電流Kink

PfLineary 

前向功率線性度

PbKink

前向功率Kink

PbIkink

背向功率Kink

PbLineary 

背向功率線性度

Iroll

滾降電流點

光譜測量參數

?c

中心波長

<20pm@可調激光器
<0.1nm@其它激光器

?p

峰值波長

<20pm@可調激光器
<0.1nm@其它激光器

SMSR

邊模抑制比

<3dB

SMSR

邊摸抑制比

<2dB

P?p

峰值功率

?2pL

左邊第二峰值波長

P?2pL

左邊第二峰值功率

?2pR

右邊第二峰值波長

PΛ2pR

右邊第二峰值功率

DeltaPLR

左右峰值功率差值

FWHM

3dB 帶寬

20dB Bandwidth 

20dB 帶寬

EA
測量

Idark

EA暗電流

ER

EA 直流小光比

<+/-0.2dB

LVI Curve

功率&EA電流曲線 vs EA偏置電壓

近場遠場

Near Field Beam waist

近場束腰

Near field angle @ X axis

X 軸近場發散角

Near field angle @ Y axis

Y 軸近場發散角

Near M^2

M 平方因子

Far field angle @ Y axis

X 軸遠場發散角

Far field angle @ X axis

Y 軸遠場發散角

DUT 類型

Die or CoC/CoS

芯片ID識別成功率

99%

分類功能

支持4-6 晶圓盤，軟件配置分類計劃

光測試能力

同時支持前向/背向光測試

溫區數量

2溫區測試座

NG DUT 容器

支持

ESD保護

所有和DUT相關的材料都是ESD防護的，良好接地

周期時間

<8s完場所有流程測試
包括：上料/運輸/下料/分類/LIV測試/光譜測試

溫度控制

溫度控制方法

TEC 和加熱板

溫度控制范圍

0°C到100°C

溫度控制分辨率

± 0.1°C

溫度控制精度

± 1°C

溫度控制穩定度

± 0.5°C

溫度防護能力

硬件防護@ >150°C

激光器控制

激光器驅動類型

每個芯片獨立驅動

驅動電流極性

雙極性

驅動電流范圍

3A CW 和脈沖10A

脈沖工作模式

支持50us 脈沖到CW, 占空比0-100%

驅動電流回讀

包含

驅動電流分辨率

0.05% @滿量程

驅動電流精度

± 0.05% @滿量程

驅動電流穩定度

± 0.03% @滿量程

驅動一致性電壓

0-+/-60V 可配置

電壓測量范圍

+/-60V

電壓測量精度

± 10mV

電壓測量分辨率

0.03%

驅動電壓范圍

<0%

驅動電壓精度

<0%

驅動電壓分辨率

<0%

標稱工作電過沖

<0%

異常工作電過沖

±3.3V

標稱工作電下沖

±5V

異常工作電下沖

± 50mV

時間探測

功率丟失、網絡丟失、短路、開路和過溫

光學測量

光功率測量能力

同時支持前向/背向測試

光功率測量范圍

0-30mW

光功率波長范圍

900-1700nm

光譜范圍

700-1650nm

光波長精度

50pm

光波長分辨率

50pm

機構參數

DUT上料能力

6 英寸晶圓盤；X/Y/角度可調；XY 移動距離80mm；

DUT 位置精度

XY 位置精度≤10μm；重復性≤±1μm；
旋轉位置精度≤0.1°旋轉重復性≤0.1°；

DUT 撿起精度

移動范圍4mm；重復性 ≤2μm；

DUT 探針精度

移動范圍3mm；重復性 ≤2μm；

DUT 傳輸機構

均采用高精度步進電機帶動，同步帶傳動，高精度滑軌導向實現；

通用參數

尺寸

1250×1000×1800mm（L×W×H）

輸入氣體壓力

0.4-0.6Mpa

輸入交流電源

200-240V, 50-60Hz

計算機型號

Advantech

操作系統

Microsoft Windows 7

軟件平臺

Microsoft

軟件語言

C#

數據庫

SQL

器件連接測試工具

集成

測試計劃配置工具

集成

測試數據查詢工具

集成