Keithley吉時利6517B 靜電計/高阻表

 主要特點:

• 電阻測量可達10¹⁸ Ω
• 電流測量范圍10aA - 20mA
• 小電流量程輸入端壓降<20μV
• 200TΩ 輸入阻抗
• <3fA 偏置電流
• 測試速率高達425 rdgs/s
• 噪聲0.75fA p-p
• 內置±1kV電壓源
• *的高電阻測量電壓反接方法
• 可選的插件式掃描卡

出眾的性能指標

半機架型6517B靜電計/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對于 接近理想的電路負載，其電壓和電阻測量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標確保物理、光學、納米技術和材料科學等研究領域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量所需的準確 度和靈敏度。內置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡化漏流測試、擊穿電壓測試 和電阻測試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測量。

測量范圍寬

6517B型靜電計/高阻表具有全自動量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測量滿量程：
• 電流測量范圍：10aA - 20mA
• 電壓測量范圍：1μV - 200V
• 電阻測量范圍：1Ω - 10¹⁸Ω
• 電荷測量范圍：1fC - 2μC

改進的高靈敏度測量

許多測試應用要求測量高級別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統測 量方法是對樣本施加足夠高的電壓，測量流經樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V /I)計算其電阻。雖然高阻材料和器件產生很小的電流，很難準確進行測量，但利用 吉時利靜電計和皮安計則可以成功地進行這種測量。

即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進行準確測量較為 困難。由于壓電效應、電容效應和偏振效應，絕緣材料、聚合物和塑料通 常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產生的電流。 在這些情況下，其測量結果往往是不穩定的，生成不準確的電阻或電阻率 讀數甚至錯誤的負值。吉時利6517B型靜電計/高阻表旨在解決這些問題， 并為各種材料和元件提供一致、可重復和準確的測量，特別是與8009型電 阻測試夾具一起使用時。

變換極性法

6517B型靜電計/高阻表使用變換電極法，實際上消除了樣本的背景電 流。并剔除背景電流的一級和第二級漂移。變換電極法施加一個正極性 電壓，然后在延遲（測量時間）后測量電流。接著，改變電壓極性， 使用相同的延遲，重新測量電流。連續重復這個過程，并根據4個電 流測量結果的加權平均值計算出電阻。對大多數材料來說，通過7次反轉(即 舍棄前三個讀數)，這個方法通常生成可高度重復、準確的電阻（或電阻 率）測量結果。例如，利用8009型測試夾具0.3%的重復度，可對1mm厚 的1014Ω-cm材料樣本進行測量，在15秒測試周期內其背景電流低于200fA。

與數字多用表類似的簡單操作

6517B型靜電計/高阻表采用與數 字多用表類似的簡易操作，可通過前 面板，利用單一按鈕控制電阻測量等 重要功能。還可以通過內置IEEE-488 接口實施控制，因此，可利用計算機 控制器通過總線對所有功能進行編程。

Keithley吉時利6517B 靜電計/高阻表高精度高阻測量

6517B型靜電計/高阻表的諸多特 性和能力有助于確保高阻測量應用的 準確度。例如，其內置電壓源簡化了 絕緣器電阻率和所用電源電壓電平之 間關系的確定。它還非常適合電容器 泄漏和絕緣電阻測量、印刷電路板表 面絕緣電阻測試、電阻器電壓系數測 試以及二極管泄漏特性分析。

溫度和濕度測試

濕度和溫度可能嚴重影響材料的 電阻率值。為了幫助您準確比較在不 同情況下測得的讀數，6517B型靜電 計/高阻表提供內置K型熱電偶和一個 可選的6517-RH型相對濕度探頭。其 內置數據存儲緩沖器允許記錄和調用 具有時間、溫度和相對濕度Stamping 的讀數。

附件擴展測量能力

利用多種可選附件，可以擴展 6517B型靜電計/高阻表的應用，并改 進其性能。

掃描卡。利用兩張掃描卡，可以簡化 多個信號的掃描。每張卡都可以輕松 插入儀器后面板的插槽。6521型掃描 卡提供10個低電平電流掃描通道。 6522型掃描卡提供10個高阻抗電壓開 關或低電流開關通道。

測試夾具。8009型電阻率夾具是一款 受保護的測試夾具，用于樣本材料的 體電阻率和表明電阻率測量。它包括 按ASTM標準構建的不銹鋼電極。該 夾具的電極尺寸已在6517B型靜電計 /高阻表預編程，因此無需計算其數 值，可以稍后手動輸入。這個附件旨 在保護用戶避免接觸潛在的危險電壓 ——自動開啟夾具蓋，關閉6517B型 靜電計/高阻表電壓源輸出。

應用

6517B型靜電計/高阻表非常適合物 理、光學、納米技術和材料科學等研究 領域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電 荷測量。其極低的電壓降非常適合太陽 能電池測量，其內置電壓源和低電流靈 敏度使之成為基于聚合物的納米線等高 阻測量的出眾解決方案。其高速和易用 性使之成為質量控制、產品工程和生產 測試（包括漏流、擊穿和電阻測試）應 用的*選擇。利用6517B型靜電計/高 阻表的電壓反轉方法，可以大幅改進對 絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測量。 6517B型靜電計/高阻表還非常適合電化 學應用，如離子選擇性電極和pH測量、 電導電池和電勢測定。

改進型6517B靜電計/高阻表

6517B型靜電計/高阻表是一款升 級型號，用于取代1996年推出的6517A 型儀器。利用SCPI指令為6517A型儀器 建造的軟件應用程序無需任何修改即可 用于6517B型靜電計/高阻表。不過，同 早期的6517A設計相比，6517B型靜電 計/高阻表進行了一些改進。其內部電 池供電的內存緩存可存儲高達50,000個 讀數，允許用戶更長時間地記錄測試結 果，并存儲更多與讀數有關的數據。該 新型儀器還為內部緩存提供更快的讀取 速度(高達425讀數/秒)，還可通過IEEE 總線存入外部存儲器(速度高達400讀數 /秒)。為了滿足現代連接和安全需求， 6517B型還連接器進行了幾處改動。