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蔡司Sigma 560場發射掃描電子顯微鏡

簡要描述:蔡司Sigma 560場發射掃描電子顯微鏡采用EDS幾何學設計,可提供高通量分析,實現自動原位實驗。通過對納米級別的特征進行三維分析進一步擴展您的工作流:執行三維STEM斷層成像或基于人工智能的圖像分割。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2026-01-15
  • 訪  問  量:1488

詳細介紹

品牌ZEISS/蔡司產地類別進口
價格區間面議儀器種類場發射
應用領域化工,生物產業,能源,電子/電池,電氣

蔡司Sigma系列產品集場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)技術與良好的用戶體驗于一體,可輕松實現成像和分析程序,提高工作效率。 您可以將其用于新材料和顆粒的質量監測,或用于生物和地質樣品的研究。在高分辨率成像方面精益求精——采用低電壓,在1 kV或更低電壓下獲得更佳的分辨率和襯度。它出色的EDS幾何學設計可執行高級顯微分析,以兩倍的速度和更高的精度獲取分析數據。

使用Sigma系列,暢游納米分析世界。

  • Sigma 360是一款直觀的成像和分析FE-SEM,是分析測試平臺的理想之選。

  • Sigma 560采用EDS幾何學設計,可提供高通量分析,實現自動原位實驗。

產品優勢

Sigma 360

分析測試平臺的理想之選,直觀的圖像采集

  • 從設置到獲取基于人工智能的結果,均提供專業向導,為您保駕護航,助您探索直觀的成像工作流。

  • 可在1 kV和更低電壓下分辨差異,實現更高的分辨率和優化的襯度。

  • 可在特殊條件下執行可變壓力成像,獲得出色的非導體成像結果。

直觀成像工作流為您指引方向

從設置到獲取基于人工智能的結果,每一步都清晰明了

  • 即使您是新手用戶,也能輕松獲得專業結果。Sigma系列可迅速獲取圖像,易于學習和使用的工作流程可節省培訓時間,簡化從導航到后期處理的每個步驟,讓您如虎添翼。

  • 蔡司SmartSEM Touch中的軟件自動化可助您完成導航、參數設置和圖像采集等步驟。

  • 接下來,ZEN core便可大顯身手:它配備針對具體任務的工具包,適用于后期處理。我們十分推薦基于機器學習的人工智能工具包,它可助您進行圖像分割,將多模式實驗與Connect Toolkit相結合,此外,Materials應用程序還能分析微觀結構、晶粒尺寸或涂層厚度。

可在1 kV和更低電壓條件下分辨差異

增強的分辨率,優化的襯度

  • 光學鏡筒是成像和分析性能的關鍵。Sigma配備蔡司Gemini 1電子光學系統,可對任何樣品提供出色的成像分辨率,尤其是在低電壓條件下。

  • Sigma 360的低電壓分辨率目前規定500 V時為1.9 nm。通過大幅度降低色差,1 kV時的分辨率已提升10%以上,可達。

  • 現在成像比以往任何時候都輕松,無論是要求嚴苛的樣品,還是在可變壓力(VP)模式下采用背散射探測。

可在特殊條件下完成可變壓力成像

用于分析和成像的NanoVP lite模式

  • 全新的 NanoVP lite模式和探測器可輕松在低于5 kV的條件下從絕緣材料中獲得高質量數據。

  • 這樣就可增強成像和X射線能譜分析的性能,提供更多表面敏感信息,縮短采集時間,增強入射電子束流,提高能譜面分布速度。

  • aBSD1(環形背散射電子探測器)或新一代C2D(級聯電流)探測器可確保在低電壓條件下采集到出色圖像。

蔡司Sigma 560場發射掃描電子顯微鏡

高通量分析,原位實驗自動化

  • 對實體樣品進行高效分析:基于SEM的高速分析。

  • 實現原位實驗自動化:無人值守測試的全集成實驗室。

可在低于1 kV的條件下完成要求嚴苛的樣品成像:采集完整的樣品信息。

對實體樣品進行高效分析

EDS:通用、高速,助您深入研究

  • 蔡司Sigma 560場發射掃描電子顯微鏡的EDS幾何學設計可提高分析效率。兩個180°徑向相對的EDS端口確保了即使在低電壓小束流條件下,也能實現高通量無陰影元素分布成像。

  • 樣品倉的附加EBSD和WDS端口不局限于滿足EDS分析。

  • 不導電樣品也可以使用全新的NanoVP lite模式進行分析,并能獲得更強的信號和更高的襯度。

全新的aBSD4探測器可輕松實現表面形貌復雜樣品的圖像采集。

實現原位實驗自動化

無人值守測試的全集成實驗室

  • Sigma原位實驗室是一種全集成式解決方案,它可以不依賴操作人員,通過無人值守的自動化工作流進行加熱和拉伸測試。

  • 通過對納米級別的特征進行三維分析進一步擴展您的工作流:執行三維STEM斷層成像或基于人工智能的圖像分割。

對要求嚴苛的樣品能夠輕松成像

可在1 kV和更低電壓條件下分辨差異

  • 在1 kV或甚至在500 V時實現信息量豐富的成像和分析:Sigma 560的低電壓分辨率規定500 V時為1.5 nm。

  • 在全新的NanoVP lite模式下,使用新型aBSD或C2D探測器在可變壓力下輕松拍攝高要求樣品,加速電壓可低至3 kV。

  • 正在研究電子設備的您肯定希望保持清潔的工作環境。使用等離子清洗儀(強烈推薦)和可通過6英寸晶圓的新型大尺寸樣品交換艙,防止您的樣品室受到污染。

技術

Gemini 1的光學系統

蔡司Sigma 560場發射掃描電子顯微鏡

Gemini光學鏡筒截面示意圖,包含電子束推進器、Inlens探測器和Gemini物鏡。

Gemini 1的光學系統由三個元件組成:物鏡、電子束推進器和具有Inlens探測原理的探測器。其中,物鏡的設計將靜電場與磁場的作用力相結合,大大優化光學性能的同時,降低了樣品所處的場影響。如此也可實現對磁性材料等具有挑戰性的樣品的高品質成像。Inlens探測原理通過對二次電子(SE)和/或背散射電子(BSE)的探測來確保高效的信號檢測,同時大幅縮短獲取圖像的時間。電子束推進器保證了小尺寸的電子束斑和高信噪比。


靈活探測

蔡司Sigma 560場發射掃描電子顯微鏡

Gemini 1光學鏡筒與探測器截面示意圖

Sigma配備了一系列不同的探測器,通過新探測技術對您的樣品進行表征。使用ETSE和Inlens探測器的高真空模式可獲取表面形貌的高分辨率信息。使用VPSE或C2D探測器的可變壓力模式可獲得清晰圖像。使用aSTEM探測器可進行高分辨率透射電子成像。 采用不同的可選BSE探測器(如aBSD探測器)可以深入研究樣品的成分和表面形貌。

NanoVP lite模式

蔡司Sigma 560場發射掃描電子顯微鏡

標準VP(左)和NanoVP lite(右)模式,氣體分布(粉紅色),電子束裙邊(綠色)。

采用NanoVP lite模式進行分析和成像,在低電壓條件下可獲得更高的圖像質量,更快速地獲取更準確的分析數據。

  • 在NanoVP lite模式下,裙邊效應降低且入射束流的路徑長度(BGPL)減小。裙邊減小會提高SE和BSE成像的信噪比。

  • 帶有五段圓弧的伸縮式aBSD可提供出色的材料成分襯度:在NanoVP lite工作過程中,該探測器配備了安裝在極靴下方的束流套管,其可提供高通量及低電壓的成分和表面形貌高襯度成像,適用于可變壓力和高真空條件。

應用

材料科學

探索聚合物、纖維、二硫化鉬等材料樣品的圖像。

  • 對斷裂的聚苯乙烯樣品表面進行成像,以了解聚合物界面處的裂紋形成和附著力。
    Sigma 560, 3 kV,60 Pa樣品倉壓力下的NanoVP lite模式,C2D G2。

  • 由德國科隆大學無機化學研究所的V. Brune博士提供。

    用于藥物傳遞的MSC膠囊(中空介孔二氧化硅)。背散射成像顯示了二氧化硅納米膠囊中的氧化鐵顆粒。Sigma 560,HDBSD,5 kV。

  • 以低電壓成像的碳納米管(CNT)。Sigma 560,500 V,Inlens SE探測器。

  • 氧化鋁(Al2O3)球體。在500 V表面信息敏感條件下高分辨率成像,可以看到燒結顆粒的表面梯度,某些梯度之間的距離僅為3 nm。Sigma 560,500 V,Inlens SE。

  • 電池正極鋁箔顆粒表面。利用材料成分襯度識別Li-NMC上的粘合劑(較暗的材料),使用aBSD成像。

  • 利用化學氣相沉積(CVD)技術在Si/SiO2基材上生長的MoS22D晶體:RISE圖像呈現出MoS2晶體的褶皺和重疊部分(綠色)、多層(藍色)及單層(紅色)結構,圖像寬度32 µm。

  • 鋼原位加熱和拉伸實驗。同步執行SEM成像和EBSD分析,以深入研究應力應變曲線。

生命科學

了解更多有關原生動物或真菌的微觀和納米結構信息,獲取切面樣品或薄片上的超微結構。

  • 在1 kV高真空條件下,使用ETSE探測器輕松完成放射蟲精細鏤空結構成像,圖像寬度183 µm。

  • 在1 kV高真空條件下對蘑菇真菌孢子成像。使用Sigma 500可以在低電壓下對這些精巧脆弱的結構輕松成像。

  • 由挪威卑爾根大學薩斯海洋分子生物學中心的Anna Seybold和Harald Hausen提供。

    固著海洋生物苔蘚蟲Tricellaria inopinata的超微結構,觀察視野為30 μm。使用蔡司Sigma 560采集,Sense BSD探測器,1 kV,30 pA。

  • 由UCL眼科研究所的Peter Munro博士和Hannah Armer提供。

    使用連續切面成像技術自動采集的3D大腦超微結構。星形細胞(青色)被識別和分割。

地球科學與自然資源

探索巖石、礦石和金屬。

  • 在20 kV下使用YAG-BSD成像的巖石樣品,由于YAG晶體的光傳導性能可高速采集圖像。

  • 硫化鎳礦石。礦物EDS面分布圖,圖像寬度3.1 mm。樣品由英國萊徹斯特大學提供。

  • 鐵礦石礦物分析:鐵礦石礦物的拉曼光譜分析,掃描電子顯微鏡圖像和拉曼圖疊加。(赤鐵礦為紅色、藍色、綠色、橙色和粉紅色;針鐵礦為淡藍色)。

  • 鐵礦石礦物分析,拉曼光譜:赤鐵礦光譜的差異表征了其晶體取向的不同。(赤鐵礦為紅色、藍色、綠色、橙色和粉紅色;針鐵礦為淡藍色)。

  • 含石榴石片麻巖的定量EDS主要元素熱圖(Ca),突出了關鍵礦物中的地球化學分區。

工業應用

了解如何對金屬、合金和粉末進行研究。

  • 在40 Pa可變壓力模式下,使用C2D探測器輕松完成對顏料和遮光劑用非導電二氧化tai顆粒的成像,圖像寬度10 µm。

  • 在20 kV的暗場模式下,使用aSTEM探測器對25 – 50 nm氧化鐵顆粒成像。

  • 在1 kV下使用aBSD對超導合金樣品成像。(比例尺20 µm)

  • 氧化鋅枝晶:檢測儲能系統電極的形態變化。Sigma,ETSE,5 kV。


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